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光學面形檢測
Nanomefos非接觸式光學面形掃描系統
分類:
光學面形檢測
可實現對600mm以內的平面、球面、非球面、自由曲面、離軸鏡、柱面鏡等面形進行高精度測量,RMS重復精度1nm以下; 可提供2米...
APRE激光干涉儀
分類:
光學面形檢測
2K╳2K像素分辨率,極速相移動態及載波動態技術,超低的回程誤差和平頂波前技術; 可選配SCI技術測試薄片元件的正反表面波形和厚度、平行度等信...
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