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          APRE激光干涉儀
          分類: 光學面形檢測  發布時間: 2017-05-14 21:10 

          APRE激光干涉儀
          2K╳2K像素分辨率,極速相移動態及載波動態技術,超低的回程誤差和平頂波前技術;
          可選配SCI技術測試薄片元件的正反表面波形和厚度、平行度等信息;
          口徑50mm/100mm/150mm等;
          可選配波長調諧激光器。
            
          類型
          菲索型干涉儀
          測試能力
          測量面形和透射波前
          測試技術
          抗振相移干涉
           抗振載波干涉
          對準系統

          2點法對準(十字窗口),校準視場2°

          輸出光直徑
          4 inch (102 mm)
          光學鏡頭直徑
          4.25 in (108 mm)
          激光光源  
          穩定 633 nm 氦氖激光
           ~1mW 激光強度, 可達更高
          激光頻率穩定性
          <0.0001nm

          相干長度     

          >100 m
          偏振  
          圓偏振
          相機分辨率
          2044 X 2044
          最短曝光時間
          9 us
          數位
          12 bits
          圖像分辨率
          100 μm 全視場 (檢測器極限)
          條紋分辨率
          680 載波條紋,1022相移條紋
          圖像失真
          <0.1% 全聚焦范
          焦距
           ±2 米
          電腦及軟件 
          高性能PC, 64位Windows操作系統,REVEALTM軟件
          安裝方式
          水平 或垂直
          附件
          兼容業內標準4英寸鏡頭
          上一產品Nanomefos非接觸式光學面形掃描系統
          下一產品:沒有了
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