類型	菲索型干涉儀
測試能力	測量面形和透射波前
測試技術	抗振相移干涉  抗振載波干涉
對準系統	2點法對準（十字窗口），校準視場2°
輸出光直徑	4 inch (102 mm)
光學鏡頭直徑	4.25 in (108 mm)
激光光源	穩定 633 nm 氦氖激光  ~1mW 激光強度, 可達更高
激光頻率穩定性	<0.0001nm
相干長度	>100 m
偏振	圓偏振
相機分辨率	2044 X 2044
最短曝光時間	9 us
數位	12 bits
圖像分辨率	100 μm 全視場 (檢測器極限)
條紋分辨率	680 載波條紋，1022相移條紋
圖像失真	<0.1% 全聚焦范圍
焦距	±2 米
電腦及軟件	高性能PC, 64位Windows操作系統，REVEALTM軟件
安裝方式	水平 或垂直
附件	兼容業內標準4英寸鏡頭